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CVD氣源發(fā)生器

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CVD氣源發(fā)生器，設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計(jì)的嵌入式預(yù)熱器。

更新時(shí)間：2025-05-13
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量：165
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設(shè)備配備預(yù)壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩(wěn)定/耐腐蝕蒸發(fā)器以及一體化設(shè)計(jì)的嵌入式預(yù)熱器。液態(tài)前驅(qū)體經(jīng)過(guò)蒸發(fā)段氣化，隨后調(diào)溫輸出。輸出組分進(jìn)一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態(tài)原料。前驅(qū)體接觸的材質(zhì)均采用耐腐蝕材料。

例

PLC控制系統(tǒng)，Ethernet通訊，與CVD生產(chǎn)線主控系統(tǒng)通訊。


 


 

含錫前驅(qū)體  

≤60  

sccm  

含氟前驅(qū)體  

≤20  

sccm  

H2O  

≤60  

sccm  

功率  

7.5  

kW  

 

 

 



CVD氣源發(fā)生器  



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